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产品描述
【48812】开元通讯“体声波滤波器及其制造的进程”专利获授权
来源：星空体育在线直播nba 发布时间：2024-08-23 13:52:22
据天眼查显现，开元通讯技能（厦门）有限公司近来获得一项名为“体声波滤波器及其制造的进程”的专利，授权公告号为CN112217493B，授权公告日为2024年8月9日，申请日为2019年7月10日。
本揭露提出了一种体声波滤波器的制造的进程，包含：在衬底上顺次构成n个谐振器的声反射空气腔、种子层、下电极层、及压电层，n≥2；N顺次从1取至n，别离重复以下进程：构成第N金属硬掩模层，使用光刻工艺界说所述榜首谐振器至第N谐振器的有用区域，将榜首谐振器至第N谐振器的有用区域之外的第N金属硬掩模层去除，对所述榜首谐振器至第N谐振器的有用区域之外的压电层进行氧化处理，构成第N压电层氧化部分，刻蚀所述第N压电层氧化部分，将榜首谐振器至第N谐振器的有用区域的金属硬掩模层去除；由此，构成具有不一样厚度的榜首谐振器至第N谐振器的压电层；在所述不同厚度的榜首谐振器至第N谐振器的压电层上构成上电极层。
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